先进材料制备与微纳加工平台
来源:    发布时间:2019-12-17    

先进资料制备与微纳加工渠道是合肥微规范物质科学国家研究中心的首要公共支撑渠道之一,参照国外同类型先进公共试验室进行规划和建造,已先后投入3500万基建改造费和1亿元设备购置费进行超净室试验场所和装备的建造。


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渠道现在已建成高等级洁净室1200余平方,洁净室各项首要硬件环境目标达国际一流,国内抢先的规范:洁净室内防微振技能目标依照NIST-A规范建造,在振荡阻隔难度极高的低频振荡阻隔方面远高于一般半导体厂的VC-D、VC-E规范;洁净室内的环境温度操控目标最高可到达小于±0.1℃/h温度漂移的超高精度要求;试验室供电选用双路供电+UPS+柴油发电机的高可靠性供电;会集供给几十种特别工艺气体、装备完善的特气侦测和安全体系;会集供给18.2MΩ的超纯水、PCW、9N超纯氮气、CDA、PV、HV等,厂务配套设备全面、先进、规范、完善。


渠道现在已装备各类微纳加工和表征测验设备70余台套,正在运转一条相对完好的微凯发k8官网纳米加工工艺线,包括了图形发作、薄膜制备、资料刻蚀、键合封装、表征测验等常见的工艺段,能够进行常见微纳米结构和器材的加工,极限线宽到达10纳米,资料品种包含硅基、碳基、金属、聚合物、化合物半导体、二维纳米等多品种型资料,能够有力支撑多学科范畴的微纳米器材加工以及微纳米结构的表征测验需求,设备总值超越1亿元,全体设备工艺才能到达国内外先进微纳加工的水平。


渠道现有专职支撑部队共25人,技能支撑部队规划适中,技能精深,分工合理。依托高水平的专职支撑团队,渠道不仅为研究中心了供给强有力的科研支撑,一起也是校园科研的重要支撑力气。渠道现在已有正式注册用户1000余人,包括校园物理、化学、资料、工程、核科学、信息、生命及地球空间科学等首要学科,支撑着250多个课题组的200余项科研项目。与此一起,渠道安身长三角、辐射全国,还为校外180余家高校、科研院所及央企、上市公司等供给了加工、检测和技能咨询服务,有力地支撑了兄弟院校的科研及当地经济建造。